得到了专业人士的肯定,两位老总脸上的表情更加欣喜,看向江辰的眼神也愈发满意。
他们仿佛看到了公司未来的光明前景,对江辰的创新能力充满了信心。
“其实不止是EUV光刻技术,”
江辰微笑着继续说道
“我还有几种光刻技术的设想,也都可以说一说。”
他顿了顿,开始详细阐述
“例如纳米压印光刻,这是一种类似打印机的技术。
我们通过在模具上刻上纳米电路的图案,然后将其压在硅片的感光材料上,通过紫外线照射完成转印。
这种技术的精度至少有2纳米,对于提高生产效率有着显着的优势。”
“还有电子束光刻机,”
江辰接着介绍
“这是用高能电子束替代极紫外线的技术。电子对应的波长更是只有0.04纳米,因此其精度更高。
不过,由于精度高,但是生产速度相对较慢,还有改进的空间。”
他看了一眼听众,发现他们都在认真倾听,于是继续说道
“最后还有自组装光刻技术,这是使用化学物质诱导光刻材料在硅片上自发组成所需结构的方法。
这种技术的分辨率高,并且加工速度不受影响。但是,它对材料控制的要求非常高,目前还处在实验室阶段。”
江辰的每一句话都充满了创新的火花,让在场的所有人都为之动容。
原以为他能够解决EUV光刻技术就已经非常天才了,没想到他还有其他几种光刻技术的设想。
既然他能够堂而皇之地将这些技术说出来,那么肯定是有理论和实验依据作为支撑的。
这场会议让大家对于江辰的技术能力非常信服。
对于EUV光刻技术,他们都已经深入研究过,因此深知这项技术的极限是在3纳米。